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半導(dǎo)體芯片在生產(chǎn)過程中不可避免地會出現(xiàn)殘次品,但封裝之后,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如有缺陷,無法直觀檢測和分揀出來。目前對于半導(dǎo)體的缺陷檢測,大多是采取單機(jī)X光成像設(shè)備,用人工目檢的方式進(jìn)行抽檢。
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